Polprevodniki / Fotovoltaika

Pri proizvodnji polprevodnikov ali sončnih celic se uporabljajo kisline. Le-te in njihovi reakcijski proizvodi v času proizvodnega procesa preidejo delno v fazo plinov in pridejo tako v procesni izrabljeni zrak. GBT vam ponuja do detajlev izdelane in zelo zmogljive sisteme za procesno obdelavo in obdelavo izrabljenega/odpadnega zraka.

• Centralni izpiraniki plina
  Čiščenje velikih volumenskih tokov kislega ali bazičnega odpadnega zraka na različnih odsesovalnih mestih v proizvodnji oblatov in čipsov
• HF-/NOx-Scrubbers (prečiščevalci)
  Separiranje nitroznih in fluoridnih plinov, ki nastajajo pri procesih luženja in jedkanja 
• Semiconductor Compact Scrubbers (SCS) (polprevodni kompaktni prečiščevalci)
  Primerni za zelo majhne volumenske tokove, ki se pojavljajo v visoki koncentraciji in v eksplozivnih atmosferah. Specialne uporabe v vlogi izpiralnikov komor za epitaksnimi reaktorji.