Halfgeleiders / fotovoltaïsch

Bij de productie van halfgeleiders of zonnecellen worden zuren en logen gebruikt. Deze en hun reactieproducten gaan tijdens het productieproces gedeeltelijk in de gasfase over en geraken op deze wijze in de afvoerlucht van het proces. GBT biedt hier geperfectioneerde systemen met groot prestatievermogen voor de proces- en afvoerluchtbehandeling.

• Centrale gaswassers
  Zuivering van grote debieten van zure of basische afvoerlucht van diverse afzuigplaatsen bij de fabricage van siliciumplaatjes en chips.
• HF-/NOx-scrubbers
  Afscheiding van nitreuze gassen en gassen die fluoride bevatten, die bij beits- en etsprocessen ontstaan.
• Semiconductor compact scrubbers (SCS)
  Geschikt voor zeer kleine debieten die zeer geconcentreerd en in explosieve atmosferen optreden. Speciaal gebruik als kamerwassers achter epitaxievaten.