Poluvodiči / fotonaponski elementi

Kod proizvodnje poluvodiča ili solarnih ćelija primjenjuju se kiseline. One i njihovi reakcijski proizvodi tijekom proizvodnog procesa djelomično prelaze u plinovito stanje i tako dospijevaju u procesni ispušni zrak. GBT ovdje nudi promišljene i snažne sustave za obradu procesnog i ispušnog zraka.

• Centralni ispirači plina
  Čišćenje velikih volumnih tokova kiselog ili lužnatog ispušnog zraka na različitm usisnim mjestima u proizvodnji podmetača i čipova
• HF-/NOx-pročistači
  Separiranje dušičnih i fluoridnih plinova koji nastaju kod luženja i jetkanja
• Semiconductor Compact Scrubbers (SCS) (poluvodički kompaktni pročistači)
  Prikladni za vrlo male volumne tokove koji se pojavljuju u visokoj koncentraciji i u eksplozivnim atmosferama. Specijalna primjena u svojstvu ispirača komora iza epitaksnih reaktora