Halbleiter / Photovoltaik

Bei der Produktion von Halbleitern oder Solarzellen werden Säuren eingesetzt. Diese und ihre Reaktionsprodukte gehen während des Produktionsprozesses zum Teil in die Gasphase über und gelangen so in die Prozessabluft. GBT bietet hier ausgereifte und leistungsstarke Systeme zur Prozess- und Abluftbehandlung.

• Zentralgaswäscher
  Reinigung großer Volumenströme sauerer oder basischer Abluft von verschiedenen Absaugestellen in der Wafer und Chip-Herstellung
• HF-/NOx-Scrubbers
  Abscheidung nitroser und fluroidhaltiger Gase, die bei Beiz- und Ätzprozessen entstehen
• Semiconductor Compact Scrubbers (SCS)
  Geeignet für sehr kleine Volumenströme, die hochkonzentriert und in explosiven Atmosphären auftreten. Spezielle Anwendungen als Kammerwäscher hinter Epitaxie-Reaktoren.