Semi-conducteurs/Photovoltaïque

Lors de la production de semi-conducteurs ou de cellules solaires, on utilise des acides et des lessives. Ces derniers, ainsi que leurs produits de réaction, sont en partie en phase gazeuse durant le processus de production et sont ainsi mélangés à l’air vicié du processus. GBT propose des systèmes mûris et performants pour le traitement du processus et de l’air vicié.

• Épurateur de gaz central
  Épuration de grands débits d’air vicié acide ou basique provenant de différents points d’aspiration dans la production de wafers et de chips.
• Scrubbers HF/NOx
  Séparation de gaz azoteux et à teneur en fluorure s’échappant lors de processus de décapage.
• Semiconductor Compact Scrubbers (SCS)
  Convient à de petits débits très concentrés se présentant dans des atmosphères explosives. Application spéciale comme épurateur de chambre après les réacteurs d’épitaxie.